據(jù)業(yè)內(nèi)資深人士透露，除了EUV光刻機(jī)，中芯國(guó)際幾乎可以買到其他所有型號(hào)的光刻機(jī)，包括DUV(深紫外)光刻機(jī)。

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12億美元買光刻機(jī)!中芯國(guó)際與阿斯麥簽下大單

3月3日，中芯國(guó)際發(fā)公告稱，公司根據(jù)批量采購(gòu)協(xié)議，已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間，就購(gòu)買阿斯麥產(chǎn)品與阿斯麥集團(tuán)簽訂了一份高達(dá)12億美元價(jià)格的購(gòu)買單。

簽訂方是阿斯麥上海，根據(jù)公告，該公司是ASMLHolding N.V.的附屬公司之一。公司稱，自2018年1月起，公司就與阿斯麥有批量采購(gòu)協(xié)議，現(xiàn)將協(xié)議期限延長(zhǎng)一整年至2021年12月31日。采購(gòu)方式上，中芯國(guó)際需支付30%首期付款，其余部分在交貨時(shí)支付。

荷蘭公司ASML是全球最大的光刻機(jī)制造商，光刻機(jī)是芯片制造所需的關(guān)鍵設(shè)備。記者曾從ASML處獲悉，該公司多年和中國(guó)業(yè)務(wù)往來頻繁，中國(guó)大陸市場(chǎng)占其總銷售10%以上，中芯國(guó)際一直是ASML在中國(guó)區(qū)的客戶，兩者存在上下游的直接供應(yīng)關(guān)系。

值得注意的是，對(duì)于這項(xiàng)12億美元訂單包含的產(chǎn)品、機(jī)器型號(hào)，公司尚未公布。而不同類型的設(shè)備，對(duì)于中芯國(guó)際研發(fā)生產(chǎn)能力的推進(jìn)有很大不同，究竟是能解決高端芯片、還是中低端芯片的擴(kuò)產(chǎn)，尚未可知。

當(dāng)前中芯國(guó)際正布局先進(jìn)和傳統(tǒng)制程兩類芯片，都需要光刻機(jī)的支撐。阿斯麥的EUV(極紫外光刻技術(shù))，能推進(jìn)中芯國(guó)際7nm/5nm芯片，而其DUV(深紫外線光科技術(shù))則支撐著中芯國(guó)際傳統(tǒng)產(chǎn)線的建造和擴(kuò)產(chǎn)，例如公司在今年最被市場(chǎng)看好的8英寸芯片產(chǎn)能，就來自傳統(tǒng)產(chǎn)線。

根據(jù)公開材料，目前EUV設(shè)備正受國(guó)際協(xié)議限制形成了出口管制，而在芯片制造廠中運(yùn)用廣泛的DUV設(shè)備，是不受國(guó)際協(xié)議限制的。

根據(jù)公告，兩者重新修訂采購(gòu)協(xié)議的時(shí)間點(diǎn)是2021年2月1日，正發(fā)生在美國(guó)政府換任、美國(guó)更新芯片產(chǎn)業(yè)政策的背景之下。

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芯片制造成熟工藝獲美供應(yīng)許可?中芯國(guó)際回應(yīng)

澎湃新聞?dòng)浾?周玲

3月2日，針對(duì)媒體報(bào)道稱，中芯國(guó)際的成熟工藝已獲得部分美國(guó)設(shè)備廠商的供應(yīng)許可，中芯國(guó)際在上證e互動(dòng)上回復(fù)稱，公司會(huì)盡最大努力，持續(xù)攜手全球產(chǎn)業(yè)鏈伙伴，保證公司生產(chǎn)連續(xù)性及擴(kuò)產(chǎn)規(guī)劃不受影響。

中芯國(guó)際強(qiáng)調(diào)，雖然不確定性依然存在，但公司始終堅(jiān)持依法合規(guī)經(jīng)營(yíng)，有信心保證公司短期內(nèi)生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)不受重大不利影響。

此前，摩根士丹利發(fā)布報(bào)告稱，美國(guó)設(shè)備供應(yīng)商近期恢復(fù)了對(duì)中芯國(guó)際的零組件供應(yīng)和現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，一定程度上緩解了外界對(duì)于中芯國(guó)際消耗品儲(chǔ)備及設(shè)備的售后擔(dān)憂。

報(bào)告進(jìn)一步指出，中芯國(guó)際成熟制程業(yè)務(wù)有望獲得設(shè)備供應(yīng)的許可，高通仍堅(jiān)持與中芯國(guó)際合作解決PMIC供應(yīng)短缺問題，聯(lián)發(fā)科、瑞昱半導(dǎo)體等部分中國(guó)臺(tái)灣芯片廠商也正向中芯國(guó)際尋求更多產(chǎn)能，預(yù)計(jì)中芯國(guó)際2021年收入將增長(zhǎng)10%-15%。

3月2日，芯謀研究發(fā)布報(bào)告稱，美國(guó)商務(wù)部、國(guó)防部、能源部和國(guó)務(wù)院四個(gè)部門，已批準(zhǔn)美領(lǐng)先設(shè)備廠商，對(duì)中芯國(guó)際供應(yīng)14納米及以上(14納米及28等成熟工藝)設(shè)備的供應(yīng)許可。“不僅如此，此前中芯國(guó)際一直申請(qǐng)但未通過的用于14納米晶圓外延生長(zhǎng)的關(guān)鍵設(shè)備也獲得了批準(zhǔn)。而對(duì)于10納米及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的出口許可，暫無進(jìn)展。”芯謀研究這份報(bào)告稱。

2020年12月20日，中芯國(guó)際對(duì)被美國(guó)列入實(shí)體清單作出解釋公告。公告稱，公司被列入實(shí)體名單后，根據(jù)美國(guó)相關(guān)法律法規(guī)的規(guī)定，針對(duì)適用于美國(guó)《出口管制條例》(Export Administration Regulations)的產(chǎn)品或技術(shù)，供應(yīng)商須獲得美國(guó)商務(wù)部的出口許可才能向公司供應(yīng)。對(duì)用于10納米及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)(包括極紫外光技術(shù))的產(chǎn)品或技術(shù)，美國(guó)商務(wù)部會(huì)采取“推定拒絕”(Presumption of Denial)的審批政策進(jìn)行審核。同時(shí)公司為部分特殊客戶提供代工服務(wù)也可能受到一定限制。

中芯國(guó)際表示，經(jīng)初步評(píng)估，上述事項(xiàng)對(duì)公司短期內(nèi)運(yùn)營(yíng)及財(cái)務(wù)狀況無重大不利影響，對(duì)10納米及以下先進(jìn)工藝的研發(fā)及產(chǎn)能建設(shè)有重大不利影響，公司將持續(xù)與美國(guó)政府相關(guān)部門 進(jìn)行溝通，并視情況采取一切可行措施，積極尋求解決方案，力爭(zhēng)將不利影響降到最低。

中芯國(guó)際聯(lián)合CEO趙海軍早前在財(cái)報(bào)電話會(huì)議上指出，由于中芯國(guó)際過去20年中與美國(guó)供應(yīng)商一直保持著穩(wěn)定的合作關(guān)系，因此有大量美國(guó)供應(yīng)商是中芯國(guó)際的第一選擇，而根據(jù)美國(guó)出口管制條例的規(guī)定，源于美國(guó)的部分都要申請(qǐng)準(zhǔn)證。趙海軍強(qiáng)調(diào)，公司和供應(yīng)商們都在第一時(shí)間積極地申請(qǐng)準(zhǔn)證，供應(yīng)商也一直在對(duì)中芯國(guó)際更新準(zhǔn)證的申請(qǐng)進(jìn)展。中芯國(guó)際對(duì)客戶承諾，對(duì)于保存期很短的耗材，公司會(huì)做到3個(gè)月內(nèi)不會(huì)中斷;對(duì)于配件，公司會(huì)做到6個(gè)月內(nèi)不會(huì)中斷。